1.類金剛石(diamond-likecarbon,DLC)涂層具有優(yōu)異的性能,應用潛力適合.但DLC涂層的較為缺點,即內應力高和熱穩(wěn)定性差,限制了DLC涂層的推廣應用.本實驗采用等離子增強化學氣相沉積(PECVD)的方法,調控涂層含氮量,調節(jié)偏壓大小,以及進行硅氮共摻.利用拉曼光譜,紅外光譜(FTIR),X射線光電子能譜(XPS)和薄膜應力測試儀,微納米力學綜合測量系統(tǒng)等分析測試手段對涂層組織和性能進行表征,探討了DLC涂層沉積態(tài)及退火態(tài)的組織結構和性能的變化規(guī)律.實驗獲得如下結論:(1)對摻氮含氫類金剛石(a-CN:H)涂層而言.隨著N_2流通量增加,涂層含氮量增加,sp~3含量先增加后減小,拐點氮含量為0.12at%.涂層中的N元素以C=N鍵為主,且C=N鍵在490°C以上溫度退火時才發(fā)生部分斷裂.存在臨界退火溫度430°C.低于該溫度退火時,與純含氫類金剛石(a-C:H)涂層相比,摻氮涂層具有較低的sp~3→sp~2的結構轉變溫度.但當退火溫度大于430°C時,摻氮涂層的結構轉變速率比a-C:H涂層低.即隨著涂層含氮量增加,低氮摻雜涂層的高溫熱穩(wěn)定性增加.當摻氮涂層經(jīng)430°C退火后,可以獲得具有高硬度,高導率,低殘余應力和低摩擦系數(shù)等綜合性能優(yōu)異的DLC涂層DLC涂層適合用于各種鎢鋼刀具、各種鋸片、沖針、各種工具刀具、各種抗磨軸承、齒輪。涂層DLC加工中心

1.通過調節(jié)DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環(huán)境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。2.類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩(wěn)態(tài)結構。由于它的組成、光學透過率、硬度、折射率和在化學腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應用領域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益成為熱點。北京鍍鈦DLC價格DLC涂層的耐磨減摩及耐腐蝕性，可顯著提高齒輪、芯軸等運動部件的使用性能及壽命。

1.為提高船用低速柴油機柱塞的耐磨性和柱塞偶件使用壽命，采用離子鍍技術與多弧磁控耦合鍍膜技術分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和DLC涂層。這2種涂層晶體生長良好、結構連續(xù)致密，均未出現(xiàn)分層、開裂及剝離的現(xiàn)象，DLC涂層相對光滑，粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm;DLC涂層表面納米硬度、彈性模量及泊松比均高于TiN涂層；無論在空氣中還是重油環(huán)境下，TiN涂層摩擦系數(shù)均高于DLC涂層，耐磨性低于DLC涂層；臺架試驗后TiN涂層柱塞表面出現(xiàn)比較明顯的平行狀溝槽磨痕，而且整體磨損比較嚴重，而DLC涂層柱塞表面的磨痕非常窄并且淺，不易被發(fā)現(xiàn)，進一步證明DLC的耐磨損性能更優(yōu)越。

1.柴油機關鍵部件活塞銷受到周期性的交變機械載荷和熱載荷作用,易因粘著導致磨損。為提高柴油機活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層，結果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結合強度、更優(yōu)的摩擦學性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質和CrC、TiC化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高,韌性較差DLC涂層在模具上的應用，其他零部件：軸類、齒輪、軸承、凸輪和從動滾輪等。

1.類金剛石碳膜（Diamond-likecarbonfilms，簡稱DLC膜）作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等，可較為用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫(yī)學等領域，具有良好的應用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強沉積系統(tǒng)，并同過該系統(tǒng)中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發(fā)。該項技術較為用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域，用于摩擦、光學功能等用途。我國技術正處于發(fā)展和完善階段，有巨大市場潛力。DLC涂層的工業(yè)化生產(chǎn)開始于上世紀末和本世紀初，和普通的應用于模具上的硬質涂層比是一種嶄新的涂層技術。江蘇防銹DLC

要解決減少或免除切削液帶來的問題，刀具DLC鍍層不僅應使刀具具有長壽命，且應有自潤滑的功能。涂層DLC加工中心

DLC涂層在模具上的應用①沖壓成形模具：凸模、凹模、精密沖裁、壓印成形零件等。②注塑成形模具：模腔和型芯、頂桿及各類鑲件等。③半導體模具：引腳成形模具的刀口件、封裝模具的成形鑲件和鑲塊等。④其他零部件：軸類、齒輪、軸承、凸輪和從動滾輪等。DLC涂層具有高硬度、表面平滑、低磨擦系數(shù)、易脫模、耐磨耗、耐酸堿、熱導性佳及低溫制程等特性。材料的高壓沖刷與顆粒很難對其造成損傷，因而遠比其它材料更適合應用在模具的保護上，大幅度地增加模具使用壽命。涂層DLC加工中心

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